Metrology, inspection and process control for microlithography XIV - 28 February-2 March 2000, Santa Clara, California
- Författare
- (T. Sullivan, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2000 | USA | 938 sidor. | 0-8194-3616-X |